Druge vrste mikroskopa skeniranje sondo uporabo sonde, ki so občutljivi na elektrostatičnega naboja, toplotno dejavnosti ali nekatere druge lastnosti atomi in molekule, ki tvorijo površino vzorca.
zgodovini Mikroskop
Spojina optični mikroskop je izumil na Nizozemskem v začetku 1600-ih. Nekateri zgodovinarji so nakazana Zach-Arias Janssen z izumom. Zaradi težav pri proizvodnji zanesljivih leč, je bil instrument ne uporablja pogosto do 19. stoletja. V 17. stoletju, Anton van Leeuwenhoek, nizozemski biolog, izdelana in uporabljena odlične mikroskopi z eno lečo. Prek teh instrumentov, je odkril, bakterije in enoceliĖarje.
Koncept prenosa elektronskim mikroskopom je bil razvit v Nemčiji v 1920-ih in 1930-ih. Ernst Ruska, nemški znanstvenik, delila Nobelovo nagrado leta 1986 za fiziko za svoje delo na instrumentu. Vrstični elektronski mikroskop je bil razvit v Združenih državah Amerike leta 1960; akustični mikroskop, v 1970-ih. V poznih 1970-ih, Gerd Binnig, West nemški znanstvenik in Heinrich Rohrer, švicarski znanstvenik, razvil tunelski mikroskop, za katere so v skupni rabi z Ruška Nobelovo nagrado za fiziko 1986.