Leče:. Tako kot optične mikroskope, SEM uporabite leče za jasne in podrobne slike. Leče v teh napravah, pa delujejo drugače. Za eno stvar, niso izdelani iz stekla. Namesto tega se leče iz magnetov, ki lahko upogne pot elektronov. S tem, leče osredotočiti in nadzor elektronski žarek, ki zagotavlja, da se elektroni na koncu ravno tam, kjer so morali iti
Vzorčna komora:. Vzorec komora za SEM je, kjer raziskovalci postavite vzorec, ki jim bodo preučuje. Ker je treba osebek hranijo izjemno še za mikroskop za izdelavo jasne slike, je treba vzorec komora biti zelo trmast in izoliran od vibracij. V bistvu, SEM so tako občutljivi na vibracije, da oni so pogosto nameščeni v pritličju stavbe. Vzorčne zbornice za SEM storiti več, kot da je vzorec še vedno. Prav tako manipulira primerek, ga postavite na različnih zornih kotov in se gibljejo tako, da raziskovalci ne bi bilo treba stalno Palica predmet, da sprejme različne slike
Detectors:. Morda si mislite, različnih vrst SEM je detektorjev kot Oči mikroskopom. Te naprave zaznajo različne načine, da elektronski žarek sodeluje s predmetom vzorca. Na primer, detektorji Everhart-Thornley registracijo sekundarne elektrone, ki so elektroni odstrani iz zunanji površini vzorca. Ti detektorji so sposobni proizvajati najbolj natančne posnetke površine nekega predmeta. Drugi detektorji, kot povratno sipani detektorji elektronov in detektorjev X-ray, lahko povem, raziskovalcem o sestavi snovi
vakuumski komori. SEM zahtevajo vakuum delovati. Brez vakuumu bi elektronskim snopom, ki jih povzroča elektronskim topom naletijo konstantno motnjam zračnih delcev v atmosferi. Bi ti delci blokirajo pot elektronskega snopa, bi se jim podrejo, ne samo tako iz zraka in na vzorcu, ki bi izkrivljal površino vzorca.
