V aprilu 2001 je družba za EUV z omejeno odgovornostjo (EUV LLC) predstavila prvo polnem obsegu prototip EUV litografije stroj. EUV LLC je konzorcij sestavljen iz nekaterih vodilnih svetovnih izdelovalcev čipov in treh ameriškega ministrstva za energijo raziskovalnih laboratorijih. Člani so Intel, AMD, IBM, Micron, Infeneon in Motorola. Ta podjetja delajo z Virtual National Laboratory, sestavljenega iz Sandia National Laboratories, Lawrence Livermore National Laboratory in Lawrence Berkeley National Laboratory. Prednost, ki je član tega konzorcija je ob prvi vrsti uporabljati to novo tehnologijo
Zdaj pa poglejmo, kako EUVL deluje
EUVL proces
Evo, kako EUVL deluje:..
- A je laser usmerjen v curku ksenon plina. Ko je laser idealno ksenon plin, se segreje plina navzgor in ustvari plazmo.
- Ko se ustvari plazma, elektroni začeli odlepi od njega in ga oddaja svetlobo na 13 nanometrov, kar je premalo za človeško oko videti.
- Svetloba potuje v kondenzator, ki se zbira v svetlobo, tako da je usmerjena na maski.
- A zastopanost eni ravni za računalniški čip je vzorčasta na zrcalo z nanašanjem absorber nekaterih delov ogledala vendar ne za druge. To ustvarja masko.
- vzorec na maski se odraža na nizu štirih do šestih ukrivljenih zrcal, zmanjšuje velikost slike in fokusiranje slike na silicijevo rezino. Vsak ogledalo ukrivi svetlobo rahlo oblikujejo podobo, ki se bodo prenesle na rezini. To je samo všeč, kako se leče v fotoaparatu krivljenju svetlobe tvori sliko na filmu.
Po Sweeney, celoten proces temelji na valovni dolžini. Če naredite valovna dolžina Skratka, dobiš boljšo sliko. Pravi, da razmišljajo v smislu ob še vedno fotografijo s kamero
". Ko posnamete fotografijo nečesa, kakovost slike je odvisna od veliko stvari, " je rekel. " In prva stvar, ki je odvisno od tega, je valovna dolžina svetlobe, ki ga uporabljate, da bi fotografijo. Krajša valovna dolžina, lahko boljšo sliko bo. To je samo zak
